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第411章 芯片流片失败的原因竟然是日本的晶圆问题（第1页）

“梁博士，你们有没有检查晶圆材料？”叶云州问道。

星耀半导体在海京建造的晶圆材料生产厂还没有建成，目前用的晶圆材料都是从日本信越化学进口的。

芯片制造对材料的要求很高，如果材料的纯度、质量等不符合要求，可能会影响芯片的性能和可靠性。

例如，使用的硅晶圆有缺陷，就可能会导致芯片出现故障。

“董事长，应该不可能吧，如果是材料的问题其它芯片也不可能流片成功啊，这些晶圆材料都是同一批采购的。”

“走，梁博士，叫上材料检测的几位专家跟我一起去现场看看。”

“呃，好。”

梁梦松起身，拿出手机给材料检测科的人打电话。

很快，叶云州，梁梦松和苏瑶三人来到芯片制造厂，三人穿上静电无尘服，将全身包裹得严严实实，又经过高度清洁外表后才踏入工厂。

几人来到晶圆材料放置的库房，几位材料检测的专家已经在等待了。

“董事长，梁厂长。。。。。。”

“别多礼了，这批晶圆材料都检测过吗？”叶云州问道。

“这是第三批从日本进口的材料，我们已经抽检过了，没问题。”其中一位比较年轻的材料检测专家回复道。

“这批材料也是从信越化学进口的？”

“不是，这一批是从SUmco进口的。”

叶云州皱眉问道：“我们不是一直从信越化学进口吗？怎么有SUmco的？”

梁梦松在旁边亲自解释道：“董事长，目前我们的供应商有三家，分别是信越化学，SUmco和世创电子材料。”

“嗯，这三家就是目前世界排名前三的晶圆制造厂，前两家是日本的，后面一家是德国的。”

叶云州点点头，大概了解了。

“你们就是用从SUmco进口的晶圆来流片的时候失败的是吧。”

“是的，董事长。”

“好，那先集中抽检这批从SUmco进口的晶圆。”

在场的几位材料检测专家明显脸上不好看，看来董事长不信任他们啊，明明他们已经抽检过了，董事长还要抽检一次。

不过，他们也不敢忤逆老板，这个老板可是叶云州啊。

检测晶圆材料是否有缺陷有多种办法。

在叶云州现场指挥下，检测专家们通过三种不同的方法来检测。

第一种方法是光学检测法。

利用光学显微镜可以直接观察晶圆表面的微观缺陷，如划痕、颗粒、凹坑等。这种方法简单直接，但检测精度有限，对于较小的缺陷可能难以发现。

而通过光学干涉测量来检测就精准得多。

通过比较反射光的干涉图案来检测晶圆表面的平整度和微小的高度差，能够发现纳米级别的表面缺陷。

第二种方法是电子束检测。

在扫描电子显微镜下，用聚焦电子束扫描晶圆表面，产生二次电子图像，可以高分辨率地观察晶圆的微观结构和缺陷，对检测尺寸非常小的缺陷很有效。

还可以用电子束诱导电流来检测。主要用于检测半导体晶圆中的电学性能缺陷，如晶体缺陷、杂质分布等，通过电子束激发产生的电流变化来发现缺陷。

第三种方法是x射线检测。

在x射线衍射下，通过分析x射线在晶圆晶体结构中的衍射图案，来检测晶体结构的完整性，如晶格畸变、多晶现象等缺陷。

在x射线断层扫描下，可以对晶圆内部进行三维成像，用于检测内部的裂纹、空洞等缺陷，这种技术对复杂的三维缺陷检测效果较好。

很快，三个小时过去了。

通过三种方法检测的人都暂时没有检测出晶圆缺陷的。

就在叶云州他们准备要排查晶圆材料问题的时候，一位检测人员大呼道：“这块晶圆有问题。”

叶云州一看，原来是一位用电子束检测的年轻的技术员。